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SQM160是利用INFICON石英晶体传感技术在镀膜过程中测量沉积速率和膜厚的精密仪器,标准型有两路传感器输入,同时,4路传感器输入可选,具体视用户实际应用而定;双输出可以向操作者提供直观的模拟沉积速率及膜厚信号。在大型系统中,传感器输入可以分配给不同材料,采集的数据通过平均值,以达到更精准的沉积控制;也可以设定为双探头模式。在高沉积速率过程中,为了延长传感器的使用寿命,速率采集模式允许探头带一个档板。用户可以自己选择0.1Å/s 还是0.01Å/s的速率显示模式.另外,还可以选择频率或质量显示模式。SQM160的四路继电输出可以用来控制沉积源、探头档板、信号时间、膜厚设定值以及晶片失效信号等。 数字输入可以通过外部信号来对读数进行开始/停止和清零操作。SQM160石英晶体监测仪采用了RS-232接口和Windows®窗口软件,可以通过电脑上进行调试安装。软件可以用来设置和存储所有参数,包括仪器操作和保留程序数据到特定的Excel®文档。同时,USB或以太网选项也添加通信协议中,以超大程度方便不同用户。
便于使用
高精度,低成本
产品特点:
产品规格:
QCM传感器输入 标准型: 2;路 可选: 4路 频率范围 1-10 MHz 频率分辨率 标准型: ± 0.12 Hz@ 4 readings/sec 可选: ± 0.03 Hz @ 10 readings/sec 频率稳定性 在 0º to 50ºC,总计± 2 ppm 可选择的测量周期 0.10 to 2 sec (每级增量0.05 sec) 测量选择 1 to 20 readings 存储膜系 99 模拟输出 2路0 to 10 VDC输出, 沉积速率 & 膜厚 数字输入/输出 2 路数字输入, 4路继电输出 数字接口 标准型: RS-232 可选: USB or 以太网 电源 0-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W CE 标识 Class 1 equipment 73/72/EE C LVD, 89/336/EEC ECD 安装支架 1/2-rack cabinet, 3-1/2" high, 89 x 213 x 197mm (3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4") 重量 2.7 Kg (6 lbs) Windows软件(included) 提供远程安装和操作指导,数据录入功能 定货信息 附件 782-900-008 单台SQM-160 19"安装支架 782-900-014 双台SQM-160 19"安装支架 782-502-062 4传感器输入扩展卡 (将标准型2路扩展到6路) 782-900-042 高分辨率选件(此项需在工厂中完成安装) 782-900-040 USB选择卡 782-900-041 以太网选择卡
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