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英富康加热式 100~200℃ 电容式膜片真空计
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品牌名称:INFICON
产品型号:CDG100D,CDG160D,CDG200D
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英富康加热式 100~200℃ 电容式膜片真空计 CDG100D,CDG160D,CDG200D INFICON

SKY CDG100D 压力计是实现**总压测量与控制的理想之选。 CDG100D 真空计温度控制在 100 °C,具有卓越的性能,适用于苛刻的半导体和等离子过程。

英富康加热式 100~200℃ 电容式膜片真空计
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服务:售前咨询电话:400-880-5151
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英富康加热式 100~200℃ 电容式膜片真空计

SKY® CDG100D 0.1 ... 1000 托/毫巴

另有160度,200度可选:


SKY® CDG160D 1 ... 1000 托 / 毫巴

SKY® CDG160D 1 ... 1000 托 / 毫巴



INFICON SKY CDG100D 压力计是实现**总压测量与控制的理想之选。 CDG100D 真空计温度控制在 100 °C,具有卓越的性能,适用于苛刻的半导体和等离子过程。 在 100 毫托至 1000 托满刻度范围内均可使用,带有所有常用类型的法兰和现场总线接口,能够提供 0 至 10V、不受气体类型限制的线性压力信号。 INFICON 电容式压力计采用超纯氧化铝陶瓷隔膜,具有防腐蚀性。 陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。 INFICON CDG 品质卓越,极具成本效益,适用于苛刻的半导体、等离子和真空应用。


益处

  • 拥有成本更低,预热速度快 50%,节能,低功耗
  • 易于集成,各种满刻度、法兰和接口,标配两个设定点
  • 轻松一键调零或远程信号调零指令,可调零点偏移
  • 诊断端口用于快速维修和维护
  • 两年保修服务,先进的加热概念和真空计保护延长了使用寿命
  • 卓越的信号稳定性和可重复性,即使是*苛刻的等离子应用,都无需长期执行重新校准
  • 合规性与标准: CE、EN、UL、SEMI、RoHS

典型应用

  • 用于刻蚀、CVD、PVD 和其他半导体制造过程
  • 化学和腐蚀性高温过程
  • 需要真空计保护的一般薄膜和真空过程

新闻

配备 EtherCAT 数字接口现在可用!


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