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英富康BCG450三合一真空计
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英富康BCG450三合一真空计 INFICON

INFICON贝阿德-阿尔珀特皮拉尼(Pirani)BCG450型电容膜片真空计将三大不同技术的优势融合在一个单个、紧凑和经济的可以测量 5×10-10 到 1500 毫巴(3.75×10-10 到 1125 托)的过程压力和基准压力的工具包里。 BCG450型电容式膜片真空计的设计旨在替代三个传感器(热离子、热量增强型皮拉尼和真空开关),从而节省成本和宝贵的工具空间。

英富康BCG450三合一真空计
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英富康BCG450三合一真空计

BCG450 大气压至超高真空三合一真空计

 

INFICON贝阿德-阿尔珀特皮拉尼(Pirani)BCG450型电容膜片真空计将三大不同技术的优势融合在一个单个、紧凑和经济的可以测量 5×10-10 到 1500 毫巴(3.75×10-10 到 1125 托)的过程压力和基准压力的工具包里。 BCG450型电容式膜片真空计的设计旨在替代三个传感器(热离子、热量增强型皮拉尼和真空开关),从而节省成本和宝贵的工具空间。


益处

  • BCG450 可节省成本和工具空间,降低真空测量安装与设置的复杂性
  • 10 托以上的压力测量不受气体类型限制,能够对任何气体混合物提供更为可靠的加载互锁控制
  • 皮拉尼联锁保护热丝,防止过早烧毁
  • 高真空皮拉尼自动调节,减少操作员干预
  • 大气压下的压差测量消除了大气压力变化引起的不确定
  • 易于更换的传感元件与板载校准数据确保再现性
  • 备有可选的图形显示屏和现场总线接口
  • RoHS 合规

典型应用

  • 半导体过程、传输腔室和加载互锁真空室的压力测量
  • 工业镀膜
  • 低真空和超高真空范围内系统的一般真空测量和控制

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