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产品详情
  • 产品名称:英福康Transpector XPR3 气体分析系统,高压强型四极质谱仪

  • 产品型号:Transpector XPR3
  • 产品厂商:INFICON
  • 产品文档:
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简单介绍:
Transpector XPR3 提供的 RGA 过程监控功能可以为您提供有关污染级别、除气级别、气体纯度和设备操作等方面的实时数据。用户可以根据此信息检测和诊断问题,从而*大化吞吐量和产量,也可以根据此信息制定更有效的预防性维护计划,从而延长工具运行时间。
详情介绍:

Transpector XPR3 气体分析系统

 

无需复杂压力转换的 PVD 过程监控


Transpector XPR3 提供的 RGA 过程监控功能可以为您提供有关污染级别、除气级别、气体纯度和设备操作等方面的实时数据。用户可以根据此信息检测和诊断问题,从而*大化吞吐量和产量,也可以根据此信息制定更有效的预防性维护计划,从而延长工具运行时间。

Transpector XPR3 是新一代气体分析系统,可用于基于四极杆的高压过程气体分析。它借鉴了之前 INFICON 系统的成功经验,具有前所未有的灵敏度、准确性和灵活性,可以监控气相沉积 (PVD) 过程。Transpector XPR3 取得了一系列技术上的突破,无需大型、复杂的压力转换设备,即可在 20 mTorr 至超高真空范围内操作。



功能

  • 经过重新设计的离子源*大限度减少污染积存,可延长使用寿命,提供更纯净的信号。
  • 新 EM 在 PVD 过程压力下工作,可实现更快速、更纯净的数据收集,消除 FC 向 EM 过度的必要,更便于数据分析。
  • 更长的新型四极杆提高了低质量范围下的滤波性能,增强了丰度灵敏度,从而提高了氢气检测灵敏度。

典型应用

  • PVD 过程模块
  • 预清洗模块
  • 非群集 PVD 工具
  • 夹钳式除气模块


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