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产品详情
  • 产品名称:德国BUSCH废气处理系统

  • 产品型号:
  • 产品厂商:其它品牌
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简单介绍:
德国BUSCH废气处理系统 普旭真空为半导体、LCD及相关行业提供了应用广泛的新一代废气处理系统。高效的废气处理技术提供净化到阈限值以下的气体,同时满足现有的和发展中的要求。
详情介绍:

德国BUSCH废气处理系统

普旭真空为半导体、LCD及相关行业提供了应用广泛的新一代废气处理系统。高效的废气处理技术提供净化到阈限值以下的气体,同时满足现有的和发展中的要求。

产品型号

Technology

Model

CapacitySLM

Applications

Gas

Flameless Catalytic

AFC

AFC 0500A

500

PE-CVD,

HDP-CVD,

ALD(NF3),

AMOLED 6G CVD

Flammable gaseswater-soluble gases

AFC 2000A

2000

AMOLED 6G CVD

Wet-Plasma-WetAPW

APW 0500A

500

etch for PFCs

Burn-Wet

ABW)

ABW 0500A

500

CVD,etch for PFCs

Thermal-Wet

ATW)

ATW 0500A

500

ALD,CVD,DIEF

ATW 1000A

1000

ALD,CVD,DIFF,LCD

ATW 3500A

3500

MO-CVD,EPI,

LCD(7G)

ATW 4000A

4000

MO-CVD,EPI,

LCD(>8G)

Wet(AWE)

AWE 0500A

500

metal etch

water-soluble gases

AWE 0500AE

500

EPI(DCS,TCS)

Semi-Dry

(ASD)

ASD 0800A

800

etch for cost-saving

无焰催化处理技术(AFC

AFC是结合了无焰催化热氧化和湿法处理技术的高温催化剂系统。用于 集成到高效单一系统中,旨在减少易燃,水溶性气体并使NF3可容纳高达3000SLM的高气流。

技术特点:

››在半导体应用和AMOLED流程中(使用大量生成气体和NF3的粉末)非常适合CVD工艺(使用NF3作为吹扫气体)。

››金属蚀刻应用的上佳解决方案。

››由于电加热器和废气反应热,催化剂区域始终保持高温,而没有燃烧额外的燃料(LNG)。

››减少NOx生成

››粉末和水溶性气体被捕获在多级润湿区中

››降低了运行成本

››易于维护和滤芯更换

››触摸屏显示

湿法-等离子-湿法处理技术(APW

APW是一个集成于单一系统的湿法-等离子-湿法处理技术的组合,是氧化物和多晶硅蚀刻工艺应用的理想选择。

技术特点:

››新湿法等离子分离设计

››耐用的反应堆等离子炬和电源设计

››具有高气体DRE(%)的稳定性能

››在废气进入等离子反应器之前,先将副产物和水溶性气体进行预湿区去除

››有效减少CF4C2F6SF6PFCs

››核心零件的使用寿命长和维护周期

››易于清洁和预防性维护

››触摸屏显示

燃烧-湿法处理(ABW

ABW是集成于单一系统中燃烧和湿法处理技术的组合,旨在有效减少PFCs,是CVD和蚀刻工艺应用的理想选择。

技术特点:

››新快速燃烧湿室分离设计

››多个安全联锁

››燃烧室带有水冷壁机制的湍流火焰

››燃烧过程中可能产生的粉末和水溶性气体被捕获在多级润湿区

››有效减少CF4C2F6SF6PFCs

››性能稳定

››运行成本低

››易于清洁和预防性维护

››触摸屏显示

热式-湿法处理技术(ATW

技术特点:

ATW将电热和湿法处理技术结合在一个系统中,该系统旨在容纳高达4000 SLM的总气流,是重粉生成和腐蚀性应用的理想选择。

››新快速热湿室分离设计

››多个安全联锁

››两种减排方法的组合,即热湿法(通过易燃和发火性气体的无焰热氧化改变工艺气体的化学性质)和水溶解(对于水溶性气体)

››易于清洁和预防性维护

››触摸屏显示

湿法处理技术(AWE

技术特点:

AWE湿式洗涤器是适应高H2和金属粉末生成应用的理想选择。

››金属蚀刻应用的上佳解决方案

››极高的安全性和正常运行时间

››四个独立的反应室,配备智能入口防止堵塞功能和强大的文丘里管装置

››内置水循环系统

››降低了运营成本

››触摸屏显示


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