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STM-2XM 双通道速率/厚度监测仪
多个应用的简单操作
STM-2XM 是一款双通道速率/厚度监测仪,它将高精度与灵活编程相结合,易于操作,价格实惠。STM-2XM 配有五种操作模式,可适应从简单到复杂的各种过程。 例如,使用简单模式仅监测单一传感器zui简单的过程,或使用合金模式进行共沉积监测。独立模式可将 STM-2XM 用作两个独立的监测仪。两个传感器输入可以使用两个单石英晶体传感器或一个双石英晶体传感器。每秒进行 10 次测量,从而实现每次测量 0.037 Å 的分辨率(密度为 1)。
功能丰富
STM-2XM 有八个可编程的数字输入、八个可编程的数字输出以及四个模拟输出,允许通常保留用于更昂贵仪器的集成水平。可编程的功能包括闸门延迟、时间/功率监测和速率采样。使用所有这些功能可实现zui精 确的读数和zui长的晶体使用寿命。通过简单的前面板界面或通过随附的 LabVIEW® 软件,运行并监测 STM-2XM。这一简单的软件功能齐全并且易于使用。
易于使用
STM-2XM 配备了高对比度的 LCD 显示屏和直观的菜单系统。整个菜单内均可找到屏幕提示,用于简单的引导式编程和操作。易于阅读的 LCD 可显示累积的质量或厚度。
功能
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两条测量通道
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用于速率、速率偏差或厚度的四个模拟输出
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八个可编程的数字输入
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八个可编程的数字输出
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每秒 10 个读数时的高精度
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显示质量或厚度
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共沉积监测功能
典型应用
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单/双传感器监测
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共沉积监测