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产品详情
简单介绍：
INFICON SKY CDG025D 电容式隔膜真空计系列的高精度、温度补偿型压力计，可以在恶劣的生产加工环境中提供稳定的性能。**数字电子元件可提高仪表性能, 且易操作, 例如一键归零功能和设定点调整。
详情介绍：
INFICON SKY CDG025D 电容式隔膜真空计系列的高精度、温度补偿型压力计，可以在恶劣的生产加工环境中提供稳定的性能。**数字电子元件可提高仪表性能, 且易操作, 例如一键归零功能和设定点调整。防腐蚀超纯陶瓷传感器提供优异的零位稳定性（包括气压突变的情况），预期使用寿命长达数百万次压力循环。独有的传感器屏蔽（砖利申请中）可防止仪表被过程污染。坚固的机械设计和数字电子元件可以改进电磁兼容性 (EMC)、长期稳定性和温度补偿。CDG025D 为开机后快速稳定以及从气压中快速恢复的功能树立了新的标准。
好处
1，从 100 mTorr 至 1000 Torr 的满刻度量程
2，电源接通后快速稳定
3，暴露于大气压后快速恢复
4，防腐蚀陶瓷传感器
5，超卓的长期信号稳定性
6，温度补偿
7，传感器受双重防污染保护
8，一键调零功能
9，宽范围电源
10，2个设定点
11，RS232 接口
12，无尘室合规
典型应用
1，用于蚀刻、CVD、PVD 和 ALD 的半导体制造设备
2，数据存储和显示器制造设备
3，工业真空设备
4，经济、高度精准的压力测量
