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产品详情
简单介绍：
INFICON Transpector CPM 一直是半导体行业市场率先的残余气体分析仪 (RGA) 过程监测系统。现在，Transpector CPM 3 通过集成经实践验证的泵送和进口系统与新型传感器和电子元件，达到业内率先的测量速度和灵敏度。Transpector CPM 3 是新型和现有半导体过程（例如，ALD、CVD、PVD 和蚀刻）的理想 RGA 过程监控器。
详情介绍：
INFICON Transpector CPM 一直是半导体行业市场率先的残余气体分析仪 (RGA) 过程监测系统。现在，Transpector CPM 3 通过集成经实践验证的泵送和进口系统与新型传感器和电子元件，达到业内率先的测量速度和灵敏度。Transpector CPM 3 是新型和现有半导体过程（例如，ALD、CVD、PVD 和蚀刻）的理想 RGA 过程监控器。
Transpector CPM 3 通过以下特性为合作伙伴提供经实践证实的投资回报率：业内率先的测量技术，稳健的适应性架构，易于维护，出色的产品支持
功能
- ALD、蚀刻、CVD 和 300 mm 除气残余气体分析仪 — 实现实时过程监测和分析
- ALD 就绪，测量速度为每点 1.8 ms（每秒 555 点）
- 在大多数苛刻 CVD 和蚀刻应用中，展现出经实践验证的耐久性和可靠性
- 应用集成 — Transpector CPM 集成 FabGuard 软件，由 INFICON 高 级应用专家提供支持，是一款强大的过程监测与诊断工具
- 紧凑尺寸 — 允许轻松集成到半导体生产设备
- Hexblock™ 含三个压力进口并减少表面积，以zui小化表面反应时间和响应时间
- 电容隔膜计 (CDG) — CDG 允许用户监测过程压力，并自动保护系统不出现压力偏移
- 自动校准 — 确保长期数据稳定性和精度，以便进行各传感器和工具的腔室匹配
