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产品详情
  • 产品名称:AE FC-7700质量流量计

  • 产品型号:AE FC-7700
  • 产品厂商:INFICON
  • 产品文档:
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简单介绍:
Advanced Energy 的AE FC-7700质量流量计系列产品是经实践验证的适合多种应用场合的标准产品,该流量计采用非金属密封,流量控制**,性价比高。该产品专为从业于半导体,平板显示,数据存储,工业真空和工业镀膜市场的工艺和设备工程师设计此外还在CVD,PVD等应用领域表现出良好的可靠性和优异的性能。
详情介绍:
AE FC-7700质量流量计
性价比高
FC-7700系列产品专为那些要求顶极性能,但不要求具有耐腐蚀性或超高漏率要
求的应用而定制,不仅性价比好,而且控制精度非常高。
 
响应速度快
FC-7700系列产品采用*新技术设计,工作性能远远优于同类质量流量控制器
(MFC)。其先进之处包括:采用了一种敏感性强、响应速度快的小直径传感器。另外,与采用低速热敏阀的同类产品相比,FC-7700系列产品采用常开或常闭式电磁阀,具有较快的响应速度。提高响应速度之后,避免了出现过冲或欠冲,达到设定点的时间不到2秒一一在所有带标准电磁阀的质量流量控制器产品中是*快的。
 
无与伦比的可靠性
由高质量的电子组件和采用耐用、*少元器件的设计理念,这使它可以经受强射
频场的干扰满足其它运转要求,并具有同类产品中*佳的零点漂移稳定性一一
使用超过一年,零点漂移不到满量程的0.5%。在投入使用的25,000件以上产品
中,仅有不到0.5%的产品在出货后一年内返修。
 
 
易于集成
替换其它品牌,即可轻松获得Area质量流量控制器所具有的性能和可靠性方面的优势,且不会遇到安装方面的麻烦。特定型号的产品带有标准电气接头并具有临界尺寸,可轻松装入现有系统。
 
出众的效果
FC-7700系列质量流量控制器带给您的不仅仅是薄膜和刻蚀工艺的一致性,同时还有高度的可重复性。
 

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