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产品详情
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  • 产品名称:PEV-1压电阀

  • 产品型号:PEV-1
  • 产品厂商:INFICON
  • 产品文档:
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简单介绍:
PEV-1压电阀是为了适用于要求**控制气体流量的场合,主要应用领域包括:磁控溅射,光学镀膜,太阳能电池,ITO,等离子体刻蚀等。它和MAXTEK的MV-112同是孪生兄弟。
详情介绍:

PEV-1压电阀主要技术特点:

1、控制模式:开环控制和闭环控制。

2、易于集成:可与国产自动压强控制仪配套使用,来实现闭环控制,达到稳定压强的目的,性价比高,同时亦可选择进口压强控制仪。

3、响应时间快。

4、性能稳定,压电陶瓷片寿命长。

5、无机械连接件,无伺服马达,无磨损,在断电的情况下可实现自动关闭的特点。

技术参数:

1、流量0-500Sccm 。

2、响应时间2毫秒。

3、集成漏率5×10-8sml/sec 。

4、驱动电压0-100VCD/0-24VDC 。

5、电路连接标准BNC接头(Q9)。

6、温度范围100C至600C 。

7、*大入口压强50PSI。

 

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