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产品详情
简单介绍：
PEV-1压电阀是为了适用于要求精准控制气体流量的场合，主要应用领域包括：磁控溅射，光学镀膜，太阳能电池，ITO，等离子体刻蚀等。它和MAXTEK的MV-112同是孪生兄弟。
详情介绍：
PEV-1压电阀主要技术特点：
- 控制模式：开环控制和闭环控制。
- 易于集成：可与国产自动压强控制仪配套使用，来实现闭环控制，达到稳定压强的目的，性价比高，同时亦可选择进口压强控制仪。
- 响应时间快
- 性能稳定，压电陶瓷片寿命长。
- 无机械连接件，无伺服马达，无磨损，在断电的情况下可实现自动关闭的特点
技术参数：
- 流量0-500Sccm
- 响应时间2毫秒
- 集成漏率5×10-8sml／sec
- 驱动电压0-100VCD／0-24VDC
- 电路连接标准BNC接头（Q9）
- 温度范围100C至600C
- 极大入口压强50PSI
