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如何选择INFICON真空计

日期:2019-08-18 15:18
浏览次数:375
摘要:如何选择INFICON真空计      一,皮拉尼真空计PSG500      1.皮拉尼真空计原理       加热电阻丝,使之升温至需要的工作温度       由于气体粒子与电阻丝碰撞离开时带走了能量,电阻丝的温度会发生变化       热丝的能量损失与热丝周围的气体浓度及气体成分成比例关系      2.衍生出两种类型的皮拉尼规       1,稳定温度,测量施加的电压变化等效测量真空度(INFICONPSG500)       2,稳定电压,测量温度变化等效测量真空度(热偶规)       3.气体的热传导,与下列提条件有关: ...
如何选择INFICON真空计
  
  一,皮拉尼真空计PSG500
  
  1.皮拉尼真空计原理
  
   加热电阻丝,使之升温至需要的工作温度
  
   由于气体粒子与电阻丝碰撞离开时带走了能量,电阻丝的温度会发生变化
  
   热丝的能量损失与热丝周围的气体浓度及气体成分成比例关系
  
  2.衍生出两种类型的皮拉尼规
  
   1,稳定温度,测量施加的电压变化等效测量真空度(INFICONPSG500)
  
   2,稳定电压,测量温度变化等效测量真空度(热偶规)
  
   3.气体的热传导,与下列提条件有关:
  
     1,气体类型
  
     2,压力大小
  
   4.皮拉尼真空计测量范围与精度
  
   测量范围(空气,氧气,一氧化碳,氮气):5x10-4至1000mbar
  
   精度(氮气):1x10-3…100毫巴±15%
  
    5x10-4…1x10-3毫巴±50%
  
    100...1000毫巴±50%
  
   5.皮拉尼真空计的优特点
  

     灯丝部分在不影响精度与速度的情况下,加以*大的保护,大大延长了灯丝的使用寿命
  
  6.皮拉尼真空计具体型号
  
   PSG050/051
  
   PSG100-SPSG101-S
  
   PSG500/500-SPSG502
  
   皮拉尼电容膜片复合真空计PCG400PCG410PCG550
  
   1.有皮拉尼规与特制的陶瓷薄膜规合成在一起
  
   2.两种原理的规管全过程都工作
  
   3.100mbar—1000mbar使用薄膜规信号
  
   4.1mbar–100mbar两规信号同时采用
  
   5.5x10-4mbar–1mbar采用皮拉尼信号
  
   6.输出的真空度信号(电压)连续,无跳跃
  
   7.皮拉尼真空计应用行业
  
   各种高真空泵的前级压力测量,如光伏,镀膜,等离子行业
  
   各种中低真空测量,如照明,冶金
  
   真空连锁控制,高真空计的点火开关控制,如PEG100
  
   PSG050可完全替代TR211,PSG051可完全替代TR216
  
   PCG400,PCG410(现在已升级为PCG550,PCG400/PCG410已经停产)与PSG500基本相同,但弥补了皮拉尼规大气测量段精度不足的弱点,而且不受气体类型的影响,在真空炉,单晶炉,多晶炉,蓝宝石炉上广泛应用
  
   PSG100PSG101,与PSG500/PSG050基本相同,但因为具有通讯协议功能,在大系统中应用广泛
  
  二,电容薄膜规CDG025D/CDG045D/100D/160D/200D
  
   1.电容薄膜规工作原理
  
    压力使膜片变形,变形量与压力大小成比例关系
  
    通过测量不同压力下的陶瓷膜片的变形量测量真空度
  
  2.电容薄膜规特点
  
   以可靠的超纯陶瓷传感器室为基础构成
  
   在严酷和腐蚀性环境中,稳定与可靠的高精度压强测量
  
   快速的预热和恢复时间,提高生产率
  
   卓越的长期稳定性,再现性和重复性
  
   由于电子学直接安装在传感器上,改进了温度补偿和EMC兼容性
  
   对环境条件变化的敏感度的降低使得测量更稳定
  
   快速预热在开机的一分钟内达到快速稳定和进入准备使用状态
  
   一键按钮:调零功能和设点调整
  
   抗腐蚀超纯陶瓷传感器
  
   能经受数百万次压强循环周期,包括大气压冲击,无任何降低性能的迹象
  
   暴露大气压后快速恢复,无需隔离阀
  
   对蒸气介质不敏感
  
   先进的传感器屏蔽(砖利)延长真空计在污染的工艺过程中的使用寿命
  
  3.INFICON陶瓷技术
  
   陶瓷技术的优越性
  
   1,无“记忆”效应
  
   2,陶瓷无疲劳问题
  
   3,*好的温度补偿
  
   4,卓越的零点稳定性
  
  低使用成本
  
   1.非凡的使用寿命
  
   2.无需隔离阀
  
   4.SkyCDG025D测量范围
  
   5.加热型薄膜规
  
   6.加热型优点
  
   零飘极小0.1%FS/年(干净真空环境)
  
   更高的精度
  
   环境温度变换/环境压力变化/环境气流变化对精度无影响
  
   比工艺更快的预热启动时间’
  
   快速恢复时间大气压<1minwithin5mV
  
   任意安装角度
  
   抗污染,可有效抵抗工艺气体或工艺产生气体的腐蚀影响
  
   7.电容薄膜规的应用
  
   要求高的应用条件下,**而快速的压强测量
  
   用于刻蚀,CVD,PVD,ALD半导体设备制造,如太阳能光伏行业的PECVD用的很多,刻蚀上一般用陶瓷型的CDG025D-X3比较多,抗污染性能比较好。一般国内用的PECVD还有多晶炉上用的MKS的电容薄膜规622A/626A/627D和INFICON的CDG025D比较多,如德国Ruth&Rau公司的PECVD设备标配产品为MKS的626B13TDE和627D01TDC1B,质量流量计用的是1179BX23CR14VSPC1800sccm/SiH4 和1179BX5CR14NSPC12000sccm/NH3,国内用的好多PECVD设备上用的是INFICON的CDG025D。
  
   资料贮存和显示器制造设备
  
   工业真空设备
  
   常用高精度真空测量
  
  三,热电离规
  
  1.热电离规原理
  
  Richardson效应:高温灯丝发射电子,高能量电子撞击气体分子,气体分子的一个或多个电子被撞击出去,形成带正电的离子
  
   1)带电离子被离子收集极捕捉收集放大输出
  
   2)离子流的大小与气体压力成比例关系
  
  2.两种类型热电离规
  

  3.热电离型复合规
  
   HPG400
  
   BPG400/-SP/-SD/SR
  
   BPG402
  
   BCG450B-A规,皮拉尼规,薄膜规三种型号复合在一起
  
   
  
  4.优点及应用
  
   BPG400
  
   测量范围宽,一个规管覆盖13个量程5x10-10–1000mbar
  
   精度高,极好的重复性5%
  
   灯丝材料镀钇的铱丝有极好的抗氧化能力,皮拉尼自锁保护,使灯丝并不会因突然暴露大气而烧毁。
  
   方便的校准调节
  
   注意事项:
  
   对气体有选择性
  
   抗污染能力弱
  
   普遍应用于从低到超高真空的测量
  
   在工业,半导体,研究行业应用广泛
  
   BPG402
  
   双灯丝,大大延长使用寿命
  
   电离规的工作可以自定义控制
  
   探头备件自带校准参数,保证精度与重复性
  
   HPG400
  
   电离规与皮拉尼的复合
  
   皮拉尼自锁保护电离规
  
   电离规的工作启动点可以一定范围内自定义
  
   简易的校准功能
  
   相对便宜的价格
  
   BCG450
  
   可调的电离规工作起点
  
   优良的重复性
  
   **的大气端测量
  
  四,冷电离规(潘宁规) PEG100/050
  
   1.冷电离规原理
  
   通过气体放电方式产生电子,通过磁场使电子获得能量将气体分子电离
  
   2.潘宁规特点与应用
  
   测量范围:5x10-9to1x10-2mbar
  
   全金属密封
  
   无灯丝
  
   易清洗
  
   应用于普通的高真空测量
  
  3.冷规复合规MPG400特点与应用
  
   冷规与皮拉尼规的复合
  
   测量范围广:5x10-9-1000mbar
  
   易于保养清洗
  
   无高真空灯丝,
  
   应用于普通高真空测量

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