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真空泵选择的注意事项

1.真空泵选择的原则

在设计真空系统时,首先要正确选择真空泵的类型,确定真空泵的大小。

2.真空泵类型的选择

在选择真空泵的类型时,需要考虑的包括被抽真空室要达到的极限压强和工作压强,被抽气体的种类,和真空泵采购的初始投资与运行中的日常维护费用。

3.真空泵工作压强范围的选择

首先要根据被抽真空室要达到的极限压强和工作压强,正确选择真空泵的工作压强范围。

从设计与制造者的角度,每种真空泵都有一定的工作压强范围,如:无油涡旋真空泵的工作压强范围为大气~1Pa。在这样宽的压强范围内,泵的抽速随压强而 变化,其稳定的工作压强范围为10E410Pa。因而,无油涡旋真空泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在大气下或者1Pa下长期工作。

从用户的角度看,真空泵的工作压强应该满足被抽真空室的极限真空及工作压强要求,通常选择真空泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。例如:真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度,选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg

4.真空泵大小的选择

选择真空泵的大小,就是确定真空泵的抽气能力。真空泵大小的选择主要根据两点:

首先根据被抽真空室工作时所需要的工作压强和室内的*大排气流量来决定。每种泵都有其极限压强和*佳抽速压强范围,真空室内压强要在泵的*佳抽速压强范围内。

其次还要根据真空室的大小和抽气时间要求来选择。

另外真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。但大部分工作压强是单独一种真空泵所不能达到的。有的真空泵不能在大气压下工 作,需要预抽真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵。所以需要正确地将不同的真空泵组合成为真空机组,以满足工作要求。

例如半导体行业真空室体积较大,要求真空室内工作环境清洁无油,抽气时间尽量短、以提高工作效率。这时抽速为1560立方米/小时(416/秒) 的无油涡旋真空泵,可以与罗茨泵组成无油真空机组,达到接近600立方米/小时(150/秒)的抽速,实现大抽速、清洁无油的目标,就能够很好的满足半 导体行业镀膜生产线的要求。

5.正确选择适合被抽气体种类的真空泵

由于真空泵有选择性抽气,因而有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。比如分子泵需要前级粗抽泵启动,与无油涡旋真空泵组合起来,便会使被抽真空室得到良好的真空度和清洁无油的真空环境。

如果被抽真空室要求清洁无油时,应该选各种无油真空泵,如:无油涡旋真空泵、螺杆泵、水环泵、溅射离子泵、低温泵以及分子筛吸附泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等。

另外还应当考虑被抽气体的种类,气体中有无可凝蒸气、有无颗粒灰尘、有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。

6.考虑真空泵对周围环境的影响

如果工作场所周围环境不允许有污染,如洁净室等,就要选择无油真空泵,如无油涡旋真空泵等。

7.考虑真空泵工作时产生的噪音与振动对工艺过程及环境的影响

若工艺过程不允许噪音与振动,如分析测试仪器,就应选择噪音低、无振动的真空泵或者采取隔离罩、软连接等减噪、防振措施。

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