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INFICON真空计开关功能及setpoint的设置方法(一)

INFICON真空计开关功能及setpoint的设置方法(一)

PSG500-SPSG502-S为例。

设点(setpoint)功能在2E-3mbar500mbar(电压范围为2.679.61VDC)的压强范围内是可调节的。每个开关功能提供一个浮动的继电器触点。见下图:

继电器功能的状态指示灯:

调整设点(setpoint)的方法:

1)用针尖(max 1.1毫米)按下<SP1>键持续约5秒,此时,规管切换至开关功能模式,在测量值上输出当前下阈值。当按键持续超过5秒时,阈值设置被修改直到释放按键,或者到达设置范围的极限。

备注:上阈值(回压限)高于下阈值的10%,也称为迟滞延时。

2)当再次按下5秒内,阈值设置会变为反向调节。

3)释放按键。5秒后规管重新开始工作,连接的控制器显示当前测量值。

注意事项:如果通过信号输出来调整设点,必须要知道当按下<SP>键时,测量信号将被抑制,取而代之的是输出相应的阈值,这可能会导致工艺故障。因此,仅在您确定不会因此导致出现危害的前提下按下<SP>键。

如果是带数字通讯(如RS232C)的真空计,如inficonPSG550,PCG550以及CDG系列里,还可以通过T-gauge软件进行设置。


作者:王建峰

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