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电容薄膜真空规管技术参数

    电容膜片真空计属于高精度温度补偿型真空计, 在苛刻的生产环境中具有稳定的性能. 先进的数字电子学提高真空计的性能和易于使用的特点,如一键调零功能和设点调整. 抗腐蚀性的超纯陶瓷传感器具有卓越的零点稳定性与预期数百万次压强周期包括大气冲击的长使用寿命. 独特的传感器屏蔽 (砖利技术)保护真空计防止过程污染. 坚固耐用的机械结构和数字电子学加强了EMC 兼容性,长期稳定性和温度补偿性. CDG025D 真空计为从电源接通后的快速稳定与暴露大气压后快速恢复等特性设定了新的标准.

   应用范围:

1,要求高的应用条件下,**而快速的压强测量:

2,用于刻蚀,CVD, PVD, ALD半导体制造设备

3,资料贮存和显示器制造设备

4,工业真空设备

5,常用高精度真空测量

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